在杭州余杭区的实验室里，一束微米级的光学光斑正快速扫过一片碳化硅晶圆。屏幕上，微小划痕、杂质、外延层缺陷被实时捕捉、分类、标注。这台清软微视自主研发的缺陷检测设....
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